Silikon nitridini (Si₃N₄) lazer bilan kesish uchun yordamchi gaz kerakmi, material zichligi va qalinligiga bog'liq.
1. Ilova stsenariylari
----Gözenekli, past zichlikdagi Si₃N₄ (8mm): Havo va maxsus parametrlar yordamida 1kVt QCW lazer (pik 3kVt) bilan kesish mumkin; sifati qabul qilinadi.
----Zich, issiq presslangan Si₃N₄ (8 mm): 10 kVt quvvatga ega lazer bilan ham azot yordami tavsiya etiladi. Havodan qochish kerak.
2. Asosiy tamoyillar
8 mm qalinlikdagi Si₃N₄ uchun lazerli kesish termal ablasyon va gazlashtirishni o'z ichiga oladi. Yordamchi gaz uchta muhim rol o'ynaydi:
----Erigan/bug'langan qoldiqlarni olib tashlang: Yuqori haroratlar erigan Si va SiO₂ hosil qiladi; gaz bo'lmasa, kerf tiqilib qoladi, bu esa to'liq bo'lmagan kesish yoki parchalanishga olib keladi.
---- Sovutish va yoriqlar oldini olish: Qalin taxtalar yuqori termal stressni to'playdi; gaz issiqlikni olib tashlaydi, sinish va chekka parchalanishining oldini oladi.
---- Oksidlanishni oldini olish uchun kislorodni chiqarib tashlang: Havo yoki O₂ oksidli qatlam hosil qiladi, kesilgan joyni qoralaydi, pürüzlülüğü oshiradi va kuchini kamaytiradi.
3. Gaz tanlashga yordam bering
----Yuqori toza azot (N₂, 99,99%): Eng keng tarqalgan va tejamkor; oksidlanishni oldini oladi, qoldiqlarni puflaydi, soviydi va toza kesik qoldiradi. Bosim: 0,6–0,8 MPa. Klipslar, joylashishni aniqlash qisqichlari, murakkab qismlar, yarimo'tkazgichlar va NEV komponentlari uchun javob beradi.
----Yuqori soflikdagi argon (Ar, 99,999%): Inert, kichikroq issiqlik taʼsir qiladigan zona, deyarli nolga teng boʻlgan juda silliq kesmalar. Avtomobil va yuqori aniqlikdagi substratlar uchun ideal, ammo qimmat.
----Havo yoki O₂ ta'qiqlangan: qoraygan kesiklar, burmalar, qattiq parchalanishga olib keladi; nozik keramika uchun qabul qilinishi mumkin emas.
4. Amaliy parametrlar
---- Lazer turi: Fiber lazer / UV pikosoniya
---- Yordamchi gaz: Yuqori toza N₂, 0,7MPa
---- Quvvat: tolali lazer 500–1000W
---- Kesish usuli: qatlamli halqali kesish, yorilishning oldini olish uchun 3-4 o'tish
---- Fokus: Salbiy fokus (material yuzasi ostida) bir xil kerfni ta'minlaydi
YCLaser turli xil qattiq va mo'rt materiallar uchun lazer bilan ishlov berishni ta'minlaydi, shu jumladan bepul namuna olish va jarayonni optimallashtirish.Moslashtirilgan yechim uchun biz bilan bog'laning.
